SiC與其他半導(dǎo)體材料的性能比較

在SiC材料的研究與開(kāi)發(fā)中，傅立葉變換紅外光譜技術(shù)（FT-IR）是一種簡(jiǎn)單而有效的研究其各種性能的工具。它可以用于測(cè)定摻雜濃度、外延層厚度或聲子光譜，對(duì)晶體結(jié)構(gòu)和質(zhì)量提供有價(jià)值的信息。基于傅立葉變換紅外的光致發(fā)光光譜技術(shù)（FT-PL）可以提供額外的信息，如能帶結(jié)構(gòu)和電荷載流子的細(xì)節(jié)。透射光譜技術(shù)可以研究半導(dǎo)體的帶隙、激子和其他電子特性。此外，碳化硅雜質(zhì)和缺陷分析也是材料開(kāi)發(fā)和質(zhì)量控制的重要步驟。